产品展示

软X射线波段施瓦茨希尔德（Schwarzschild）物镜

本产品专为软X射线波段设计的高分辨成像物镜，采用双球面反射镜结构，有效消除球差与色差，适配软X射线显微、光刻等光学系统，具备高反射效率、高空间分辨率特性，真空兼容设计，可直接集成于各类真空光学实验平台，为软X射线波段高精度成像提供核心光学支撑。

极紫外两镜投影曝光装置

本产品是面向极紫外光刻技术研发的核心科研设备，采用双镜组投影光学架构设计，适配极紫外波段光学传输特性，可实现高精度的图案投影与曝光成像。

软X射线波段柯克帕特里克-贝兹镜镜组

本产品采用正交双曲面反射镜构型，实现软X射线束的高效聚焦与准直，聚焦精度达微纳级，真空适配性强，可灵活调节聚焦光斑大小，适配软X射线光源、显微成像、材料表征等设备，是软X射线光学系统中束流调控的关键。

极紫外显微成像装置

本产品是针对极紫外波段的高分辨显微成像专用设备，融合极紫外光照明系统、高灵敏度成像探测模块与超高真空光学腔体，突破传统光学显微在极紫外波段的成像限制。

软X射线波段沃特-I型镜组

本产品采用软X射线波段高性能透射式光学镜组，优化的光学镀膜工艺提升波段透过效率，紧凑化结构设计便于集成，具备良好的波长适配性与稳定性，真空兼容，适用于软X射线波段的光束传输、分光、成像等光学系统，适配科研级软X射线实验设备的核心光路搭建。

真空热计量系统

本产品是一款面向真空环境的高精度热学参数测量设备，集成真空获得与维持系统、精密温度控制模块、高精度热流与热物性检测单元，可在高真空 / 超高真空工况下，实现对各类材料、元器件、真空器件的热导率、热扩散系数、热辐射系数、接触热阻等关键热学参数的精准计量。

超高精度温度控制系统

本产品是真空/大气环境通用的超高精度控温核心部件，搭载高精度测温传感器与闭环控温算法，控温精度达毫开级，宽温域调节范围，支持原位实时温度监测与动态调节，真空兼容封装设计，无额外释气，适配各类精密光学、半导体、真空器件的温度精准控制，保障设备稳定运行。

真空释气计量系统

本产品是真空环境下材料与器件释气特性的专业计量设备，可实现对固体材料、真空零部件、光学元件在不同真空度、不同温度条件下的释气种类、释气速率、总释气量的精准检测与定量分析。

超洁净气体控制系统

本产品是面向超高真空、超洁净实验环境的气体调控部件，集成高精度流量阀、纯度过滤模块、压力监测单元，实现气体的超洁净输送、精准流量调节与压力稳定控制，无微粒污染、无二次释气，适配极紫外/软X射线光学系统、真空镀膜、半导体工艺等对气体洁净度要求严苛的场景。