本产品是针对极紫外波段的高分辨显微成像专用设备，融合极紫外光照明系统、高灵敏度成像探测模块与超高真空光学腔体，突破传统光学显微在极紫外波段的成像限制。
本产品具备纳米级空间分辨能力，可实现对微纳结构、极紫外光学元件表面形貌、半导体材料微区特性的直接成像与分析，同时支持原位动态观测，适配材料科学、微纳光学、半导体器件表征、极紫外光学元件以及掩模白板和掩模图形板性能验证等科研场景，为极紫外波段下的微观形貌与性能研究提供高分辨率、高可靠性的成像解决方案。