真空释气计量系统

本产品是真空环境下材料与器件释气特性的专业计量设备,可实现对固体材料、真空零部件、光学元件在不同真空度、不同温度条件下的释气种类、释气速率、总释气量的精准检测与定量分析。
本产品集成超高真空腔体、高灵敏度质谱检测模块、精准控温系统与动态真空监测单元,能实时捕捉并分析释气组分,同时具备长期稳定性测试能力,适用于航空航天真空器件、半导体制造、极紫外光学元件、真空镀膜等领域的材料筛选、器件可靠性验证与真空工艺优化,为真空系统的漏率控制与长时稳定运行提供关键数据依据。

联系邮箱