本产品采用正交双曲面反射镜构型,实现软X射线束的高效聚焦与准直,聚焦精度达微纳级,真空适配性强,可灵活调节聚焦光斑大小,适配软X射线光源、显微成像、材料表征等设备,是软X射线光学系统中束流调控的关键。
产品特征: 正交双曲面镜 微纳级聚焦