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上海滴水微光科技有限公司
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上海滴水微光科技有限公司

交付案例

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核心能力
交付案例

光学部件

超精密加工与系统装校技术

已交付的光学部件覆盖从X射线到软X射线波段，包括沃尔特-I型聚焦镜模块、匀光透镜组件及配套测试台。

光电部件

先进信号采集与图像识别算法技术

已交付的光电部件涵盖纳米级对准计量传感器，能量传感器可捕捉X射线至软X射线光子信号。

机电部件

精密定位与协同控制技术

已交付的机电部件涵盖自动化搬运系统、纳米级晶圆台、主动与被动真空减振器、过渡腔体及其他相关组件。

环境适配部件

超高洁净真空技术

已交付的环境相关部件包括真空泵组、高纯度气柜与水柜，以及材料放气与热计量系统，其真空压力优于1E-5 Pa。