本产品是面向极紫外光刻技术研发的核心科研设备，采用双镜组投影光学架构设计，适配极紫外波段光学传输特性，可实现高精度的图案投影与曝光成像。

本产品是针对极紫外波段的高分辨显微成像专用设备，融合极紫外光照明系统、高灵敏度成像探测模块与超高真空光学腔体，突破传统光学显微在极紫外波段的成像限制。

本产品是一款面向真空环境的高精度热学参数测量设备，集成真空获得与维持系统、精密温度控制模块、高精度热流与热物性检测单元，可在高真空 / 超高真空工况下，实现对各类材料、元器件、真空器件的热导率、热扩散系数、热辐射系数、接触热阻等关键热学参数的精准计量。

本产品是真空环境下材料与器件释气特性的专业计量设备，可实现对固体材料、真空零部件、光学元件在不同真空度、不同温度条件下的释气种类、释气速率、总释气量的精准检测与定量分析。

本产品是极紫外波段光学元件反射率特性的高精度专用计量设备，专为极紫外反射镜、光学膜系、微纳光学元件等研发设计，可实现对极紫外全波段内样品反射率的精准测试，涵盖绝对反射率、相对反射率、角度依赖性反射率等多项指标。