本产品是面向超高真空、超洁净实验环境的气体调控部件，集成高精度流量阀、纯度过滤模块、压力监测单元，实现气体的超洁净输送、精准流量调节与压力稳定控制，无微粒污染、无二次释气，适配极紫外/软X射线光学系统、真空镀膜、半导体工艺等对气体洁净度要求严苛的场景。
产品特点：
