本产品专为软X射线波段设计的高分辨成像物镜，采用双球面反射镜结构，有效消除球差与色差，适配软X射线显微、光刻等光学系统，具备高反射效率、高空间分辨率特性，真空兼容设计，可直接集成于各类真空光学实验平台，为软X射线波段高精度成像提供核心光学支撑。

本产品采用正交双曲面反射镜构型，实现软X射线束的高效聚焦与准直，聚焦精度达微纳级，真空适配性强，可灵活调节聚焦光斑大小，适配软X射线光源、显微成像、材料表征等设备，是软X射线光学系统中束流调控的关键。

本产品采用软X射线波段高性能透射式光学镜组，优化的光学镀膜工艺提升波段透过效率，紧凑化结构设计便于集成，具备良好的波长适配性与稳定性，真空兼容，适用于软X射线波段的光束传输、分光、成像等光学系统，适配科研级软X射线实验设备的核心光路搭建。

本产品是真空/大气环境通用的超高精度控温核心部件，搭载高精度测温传感器与闭环控温算法，控温精度达毫开级，宽温域调节范围，支持原位实时温度监测与动态调节，真空兼容封装设计，无额外释气，适配各类精密光学、半导体、真空器件的温度精准控制，保障设备稳定运行。

本产品是面向超高真空、超洁净实验环境的气体调控部件，集成高精度流量阀、纯度过滤模块、压力监测单元，实现气体的超洁净输送、精准流量调节与压力稳定控制，无微粒污染、无二次释气，适配极紫外/软X射线光学系统、真空镀膜、半导体工艺等对气体洁净度要求严苛的场景。

本产品是微纳级高精度检测传感器，兼具调焦与调平双重功能，采用非接触式检测原理，响应速度快、测量精度高，真空兼容设计，可实时捕捉工件表面的高度与平面度偏差，输出精准反馈信号，适配光刻、显微成像、微纳加工等设备的高精度对位与姿态调节。