本产品是极紫外波段光学元件反射率特性的高精度专用计量设备，专为极紫外反射镜、光学膜系、微纳光学元件等研发设计，可实现对极紫外全波段内样品反射率的精准测试，涵盖绝对反射率、相对反射率、角度依赖性反射率等多项指标。
本产品搭载高稳定度极紫外光源、精密角度调整机构、超高真空光路系统与高灵敏度探测模块，有效消除杂散光与大气干扰，测试精度达行业前沿水平，适用于极紫外光学元件研发、光学膜系制备、微纳光学工艺优化等科研领域，为极紫外光学系统的设计与性能验证提供核心的反射率参数计量保障。