本产品是微纳级高精度检测传感器，兼具调焦与调平双重功能，采用非接触式检测原理，响应速度快、测量精度高，真空兼容设计，可实时捕捉工件表面的高度与平面度偏差，输出精准反馈信号，适配光刻、显微成像、微纳加工等设备的高精度对位与姿态调节。
产品特点：
